PCB板微电阻截面中徕卡EM TXP精研一体机对微电子检测方案(视频显微镜)

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PCB板微电阻截面的快速制备——徕卡EM TXP精研一体机对微电子的经典应用 文章来源： 圆派科学   时间：2019-11-26 11:18 徕卡精研一体机EM TXP在微电子中的应用 徕卡EM TXP，一款集切割、磨抛、铣削与冲钻于一身的工具，可对样品目标精细定位，尤其擅长对肉眼难以观察的微小目标进行定位处理。对微电子的定位处理，用EM TXP快速精准。 以下介绍EM TXP针对一块PCB上一个长不足1mm的电阻的截面处理方法。下图为PCB板的一角在体式显微镜55X下观察的形貌，目标位置是红色椭圆圈内的电阻，接下来采用EM TXP切割、磨抛后用金相显微镜观察。   制备前处理 该PCB板易碎，为防止其受破坏，用标乐的树脂进行包埋并用粗砂纸磨至如下图形状： EM TXP制样过程 采用的工具如下图所示：   左图用TXP的扁平夹具对样品进行夹持，右图1至5编号依次对应的工具为：金刚石锯片、30um磨片、9um磨片、2um磨片、0.05um抛光布。 切割 EM TXP的工作区示意，图右为切割过程示意 。     TXP的整个处理过程，仅需20min。 制样结果观察 采用徕卡金相显微镜DM4M，对结果进行观测（如下图所示）。制备整体效果如下左图，可清楚看出左边的锡中存在一个大气孔；下右图则可清晰观测到合金层。     试验所用的其他设备与耗材 1、包埋（镶嵌） 采用冷镶嵌的方式，冷镶所用的耗材如下： 标乐型号为EpoKwickT M  FC的环氧树脂及相应固化剂套装； 标乐型号为ReleaseAgen的脱模剂。   2、显微镜观察 采用徕卡金相显微镜DM4M，在明场的条件下进行拍摄，物镜倍数根据需要可选择5X、10X、20X、50X、100X， 目镜为10X。 徕卡DM4M金相显微镜 PCB板微电阻截面的快速制备——徕卡EM TXP精研一体机对微电子的经典应用文章来源：   时间：2019-11-26 11:18徕卡精研一体机EM TXP在微电子中的应用徕卡EM TXP，一款集切割、磨抛、铣削与冲钻于一身的工具，可对样品目标精细定位，尤其擅长对肉眼难以观察的微小目标进行定位处理。对微电子的定位处理，用EM TXP快速精准。以下介绍EM TXP针对一块PCB上一个长不足1mm的电阻的截面处理方法。下图为PCB板的一角在体式显微镜55X下观察的形貌，目标位置是红色椭圆圈内的电阻，接下来采用EM TXP切割、磨抛后用金相显微镜观察。 制备前处理该PCB板易碎，为防止其受破坏，用标乐的树脂进行包埋并用粗砂纸磨至如下图形状：EM TXP制样过程采用的工具如下图所示： 左图用TXP的扁平夹具对样品进行夹持，右图1至5编号依次对应的工具为：金刚石锯片、30um磨片、9um磨片、2um磨片、0.05um抛光布。                 1.切割                    EM TXP的工作区示意，图右为切割过程示意 。   TXP的整个处理过程，仅需20min。制样结果观察采用徕卡金相显微镜DM4M，对结果进行观测（如下图所示）。制备整体效果如下左图，可清楚看出左边的锡中存在一个大气孔；下右图则可清晰观测到合金层。  试验所用的其他设备与耗材1、包埋（镶嵌）采用冷镶嵌的方式，冷镶所用的耗材如下：标乐型号为EpoKwickT M  FC的环氧树脂及相应固化剂套装；标乐型号为ReleaseAgen的脱模剂。 2、显微镜观察采用徕卡金相显微镜DM4M，在明场的条件下进行拍摄，物镜倍数根据需要可选择5X、10X、20X、50X、100X， 目镜为10X。徕卡DM4M金相显微镜