氧化硅、氮化硅、多晶硅等透光材料中薄膜厚度、光学参数检测方案

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metrisis Film Metrology & More... FR-Mic： 微米级薄膜表征 利用 FR-Mic， 通过紫外/可见/近红外可轻易对局部区域薄膜厚度，厚度映射，光学常数，反射率，折射率及消光系数进行测量。 相关应用 高校 &研究所实验室 半导体制造 (氧化物/氮化物，硅膜，光刻胶及其他半导体薄膜.) MEMS 器件(光刻胶，硅膜等.) LEDs， VCSELs 数据存储 0 阳极处理 曲面基底的硬镀及软镀 聚合物膜层，粘合剂. o 生物医学 (聚对二甲苯，生物膜/气泡壁厚度.) FR-Mic 是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，要求的光斑尺寸小到几个微米，如微图案表面，粗糙表面及许多其他表面。，它可以配备一台专用计算机控制的 XY 工作台，使其快速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性图。 还有许多… (有任何应用要求，请随时联系我们) o实时光谱测量 o 薄膜厚度，光学特性，非均匀性测量，厚度映射 o使用集成的， USB连接高品质彩色摄像机进行成像 ( 北京分公司010-6261 5731/35 东莞分公司0769-2242 3308/2241 5419 ) 技术参数 型号 UV/VIS UV/NIR-EXT UV/NIR-HR D UV/NIR VIS/NIR D VIS/NIR NIR 光谱波长范围(nm) 光谱仪像素 200-8503648 200-10203648 200-11003648 200-17003648&512 370-10203648 370-1700 3648 & 512 900-1700512 5X- VIS/NIR 15nm-60pm4nm-50um4nm-40um4nm-25pm4nm-4um 15nm-70pm 4nm-60um4nm-50m4nm-30pm4nm-4um 15nm-90pm 4nm-80um4nm-50um4nm-30um4nm-5um 15nm-150pm 4nm-130pm 4nm-120um4nm-50um4nm-6um 15nm-90pm 15nm-80um- 15nm-30pm 15nm-5pm 15nm-150pm 15nm-130um- 15nm-50pm - 100nm-150um 100nm-130pm 10X-VIS/NIR10X-UV/NIR* 15X- UV/NIR*20X- VIS/NIR20X- UV/NIR *40X- UV/NIR * 100nm-50um 100nm-5pm 50X- VIS/NIR 15nm-5pm 50nm 50nm 50nm 50nm 100nm 100nm 500nm 光源 测量面积(收集反射或透射信号的面积)与显微镜物镜和FR-uProbe 的孔径大小有关 物镜 500 um 孔径 250 um 孔径 100 pm 孔径 5x 100 um 50 um 20 pm 10x 50 um 25 um 10um 20x 25 um 17 um 5 um 50x 10 um 5 um 2 um 工作原理 白光反射光谱(WLRS)是测量垂直于样品表面的某一波段的入射光，在经多层或单层薄膜反射后，经界面干涉产生的反射光谱可确定单层或多层薄膜(透明，半透明或全反射衬底)的厚度及 N*K 光学常数， ( *规格如有更改，恕不另行通知， ' 测量结果与校准的光谱椭偏仪和XRD 相比较，’联系15天测 量的 标准方差平均值.样品：1um Si02 on Si.，‘ 100次厚度测量的标准方差 ， 样品：1um Si02 on Si.，， 2 *超过15天 的 标准偏差日平均值样品： 1um Si02 on Si. ) 岱美香港总部：-美中国；上海分公司址： www. dymek. cn， www. dymek. com 岱美中国；上海分公司 北京分公司 东莞分公司址： www. dymek.cn， www. dymek.com Thetametrisis  FR系列测量薄膜参数解决方案厂家正式授权代理商：岱美有限公司ThetaMetrisis是一家私有公司，成立于2008年12月，位于希腊雅典，是NCSR&＃39;Demokritos&＃39;的微电子研究所的第一家衍生公司。ThetaMetrisis的核心技术是白光反射光谱（WLRS），它可以在几埃到几毫米的超宽范围内，准确而同时地测量堆叠的薄膜和厚膜的厚度和折射率。         FR-Mic: 微米级薄膜表征-厚度，反射率，折射率及消光系数测量仪一、产品简介：     FR-Mic 是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，要求的光斑尺寸小到几个微米，如微图案表面，粗糙表面及许多其他表面。它可以配备一台专用计算机控制的 XY 工作台，使其快速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性图。o 实时光谱测量o 薄膜厚度，光学特性，非均匀性测量，厚度映射o 使用集成的， USB 连接高品质彩色摄像机（CCD）进行成像  二、应用领域 o   大学 & 科研院所o   半导体（氧化物、氮化物、硅、电阻等）o   MEMS 元器件 (光刻胶、硅薄膜等)o   LEDo   数据存储元件o   弯曲基材（衬底）上的硬/软涂层o   聚合物涂层、粘合剂等o   生物医学（ parylene—— 派瑞林,气泡壁厚,等等 )o   其他更多 …(如有需求，请与我们取得联系)  三、产品特点o 单点分析(无需预设值）o 动态快速测量o 包括光学参数(n和k，颜色)o 为演示保存视频o 600 多种的预存材料o 离线分析o 免费软件更新   四、技术参数     FR-Scanner 自动化超高速精准薄膜厚度测量仪 一、产品简介：       FR-Scanner 是一种紧凑的台式工具，适用于自动测绘晶圆片上的涂层厚度。FR-Scanner 可以快速和准确测量薄膜特性:厚度，折射率，均匀性，颜色等。真空吸盘可应用于任何直径或其他形状的样片。       独特的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此，在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。FR-Scanner 通过高速旋转平台和光学探头直线移动扫描晶圆片(极坐标扫描)。通过这种方法，可以在很短的时间内记录具有高重复性的精确反射率数据，这使得FR-Scanner 成为测绘晶圆涂层或其他基片涂层的理想工具。测量 8” 样片 625 点数据<60 秒 二、应用领域o      弯曲基材（衬底）上的硬/软涂层o      聚合物涂层、粘合剂等o      生物医学（ parylene—— 派瑞林,气泡壁厚,等等 )o     半导体生产制造：(光刻胶, 电介质,光子多层结构， poly-Si,Si, DLC )o      光伏产业o      液晶显示o      光学薄膜o      聚合物o      微机电系统和微光机电系统o      基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明 三、产品特点o 单点分析(无需预设值）o 动态快速测量o 包括光学参数(n和k，颜色)o 为演示保存视频o 600 多种的预存材料o 离线分析o 免费软件更新 四、技术参数FR-Scanner: 自动化超高速薄膜厚度测量仪 FR-pOrtable:一款USB驱动的薄膜表征工具 一、产品简介：       FR-pOrtable 是 一 款独 特 的 便 携 式 测 量 仪器 ， 可 对 透 明 和 半 透明 的 单 层 或 多 层 堆 叠薄 膜 进 行 精 确 的 无 损（非接触式）表征。使用 FR-pOrtable，用户可以在 380-1020nm 光谱范围内进行反射率和透射率测量及薄膜厚度测量。二、应用领域o   大学 & 科研院所o   半导体（氧化物、氮化物、硅、电阻等）o   MEMS 元器件 (光刻胶、硅薄膜等)o   LEDo   数据存储元件o   弯曲基材（衬底）上的硬/软涂层o   聚合物涂层、粘合剂等o   生物医学（ parylene—— 派瑞林,气泡壁厚,等等 )o   其他更多 …(如有需求，请与我们取得联系) 三、应用领域 FR-pOrtable的紧凑尺寸以及定制设计的反射探头以及宽带长寿命光源确保了高精度和可重复的便携式测量。 FR-Portable既可以安装在提供的载物台上，也可以轻松转换为手持式厚度测量工具。放置在待表征的样品上方即可进行测量。 FR-Portable是用于工业环境（如R2R、带式输送机等）中涂层实时表征的可靠而精确的测厚仪。四、产品特点o 一键分析 (无需初始化操作)o 动态测量o 测量光学参数(n & k, 颜色)，膜厚o 自动保存演示视频o 可测量 600 多种不同材料o 用于离线分析的多个设置o 免费软件更新服务   五、技术参数FR-pRo: 按需可灵活搭建的薄膜特性表征工具一、产品简介：      FR-pRo 是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备，用于表征厚度范围为1nm-1mm 的涂层.FR-pRo 是为客户量身定制的，并广泛应用于各种不同的应用 。      FR-pRo 可由用户按需选择装配模块，核心部件包括光源，光谱仪（适用于 200nm-2500nm 内的任何光谱系统）和控制单元，电子通讯模块此外，还有各种各种配件，比如:? 用于测量吸收率/透射率和化学浓度的薄膜/试管架,? 用于表征涂层特性的薄膜厚度工具,? 用于控制温度或液体环境下测量的加热装置或液体试剂盒,? 漫反射和全反射积分球通过不同模块组合，最终的配置可以满足任何终端用户的需求  二、应用领域o   弯曲基材（衬底）上的硬/软涂层o   聚合物涂层、粘合剂等o   生物医学（ parylene—— 派瑞林,气泡壁厚,等等 )O    半导体生产制造：(光刻胶, 电介质,光子多层结构， poly-Si,Si, DLC )o     光伏产业o     液晶显示o     光学薄膜o     聚合物o     微机电系统和微光机电系统o     基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明 三、产品特点o 单点分析(无需预设值）o 动态快速测量o 包括光学参数(n和k，颜色)o 为演示保存视频o 600 多种的预存材料o 离线分析o 免费软件更新   四、技术参数