透光性材料中光学参数、厚度检测方案

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metrisis Film Metrology & More... FR-Mic： 微米级薄膜表征 利用 FR-Mic， 通过紫外/可见/近红外可轻易对局部区域薄膜厚度，厚度映射，光学常数，反射率，折射率及消光系数进行测量。 相关应用 高校 &研究所实验室 半导体制造 (氧化物/氮化物，硅膜，光刻胶及其他半导体薄膜.) MEMS 器件(光刻胶，硅膜等.) LEDs， VCSELs 数据存储 0 阳极处理 曲面基底的硬镀及软镀 聚合物膜层，粘合剂. o 生物医学 (聚对二甲苯，生物膜/气泡壁厚度.) FR-Mic 是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，要求的光斑尺寸小到几个微米，如微图案表面，粗糙表面及许多其他表面。，它可以配备一台专用计算机控制的 XY 工作台，使其快速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性图。 还有许多… (有任何应用要求，请随时联系我们) o实时光谱测量 o 薄膜厚度，光学特性，非均匀性测量，厚度映射 o使用集成的， USB连接高品质彩色摄像机进行成像 ( 北京分公司010-6261 5731/35 东莞分公司0769-2242 3308/2241 5419 ) 技术参数 型号 UV/VIS UV/NIR-EXT UV/NIR-HR D UV/NIR VIS/NIR D VIS/NIR NIR 光谱波长范围(nm) 光谱仪像素 200-8503648 200-10203648 200-11003648 200-17003648&512 370-10203648 370-1700 3648 & 512 900-1700512 5X- VIS/NIR 15nm-60pm4nm-50um4nm-40um4nm-25pm4nm-4um 15nm-70pm 4nm-60um4nm-50m4nm-30pm4nm-4um 15nm-90pm 4nm-80um4nm-50um4nm-30um4nm-5um 15nm-150pm 4nm-130pm 4nm-120um4nm-50um4nm-6um 15nm-90pm 15nm-80um- 15nm-30pm 15nm-5pm 15nm-150pm 15nm-130um- 15nm-50pm - 100nm-150um 100nm-130pm 10X-VIS/NIR10X-UV/NIR* 15X- UV/NIR*20X- VIS/NIR20X- UV/NIR *40X- UV/NIR * 100nm-50um 100nm-5pm 50X- VIS/NIR 15nm-5pm 50nm 50nm 50nm 50nm 100nm 100nm 500nm 光源 测量面积(收集反射或透射信号的面积)与显微镜物镜和FR-uProbe 的孔径大小有关 物镜 500 um 孔径 250 um 孔径 100 pm 孔径 5x 100 um 50 um 20 pm 10x 50 um 25 um 10um 20x 25 um 17 um 5 um 50x 10 um 5 um 2 um 工作原理 白光反射光谱(WLRS)是测量垂直于样品表面的某一波段的入射光，在经多层或单层薄膜反射后，经界面干涉产生的反射光谱可确定单层或多层薄膜(透明，半透明或全反射衬底)的厚度及 N*K 光学常数， ( *规格如有更改，恕不另行通知， ' 测量结果与校准的光谱椭偏仪和XRD 相比较，’联系15天测 量的 标准方差平均值.样品：1um Si02 on Si.，‘ 100次厚度测量的标准方差 ， 样品：1um Si02 on Si.，， 2 *超过15天 的 标准偏差日平均值样品： 1um Si02 on Si. ) 岱美香港总部：-美中国；上海分公司址： www. dymek. cn， www. dymek. com 岱美中国；上海分公司 北京分公司 东莞分公司址： www. dymek.cn， www. dymek.com      厂家正式授权代理商：岱美有限公司FR-Mic: 微米级薄膜表征-厚度，反射率，折射率及消光系数测量仪一、产品简介：     FR-Mic 是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，要求的光斑尺寸小到几个微米，如微图案表面，粗糙表面及许多其他表面。它可以配备一台专用计算机控制的 XY 工作台，使其快速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性图。o 实时光谱测量o 薄膜厚度，光学特性，非均匀性测量，厚度映射o 使用集成的， USB 连接高品质彩色摄像机（CCD）进行成像 二、应用领域o   大学 & 科研院所o   半导体（氧化物、氮化物、硅、电阻等）o   MEMS 元器件 (光刻胶、硅薄膜等)o   LEDo   数据存储元件o   弯曲基材（衬底）上的硬/软涂层o   聚合物涂层、粘合剂等o   生物医学（ parylene—— 派瑞林,气泡壁厚,等等 )o   其他更多 …(如有需求，请与我们取得联系)三、产品特点o 单点分析(无需预设值）o 动态快速测量o 包括光学参数(n和k，颜色)o 为演示保存视频o 600 多种的预存材料o 离线分析o 免费软件更新 四、技术参数五、工作原理白光反射光谱（WLRS）测量方法是在一定波长范围内，分析垂直于样品表面的入射光和从单层或多层堆叠薄膜反射的反射光谱的分析方法。由界面&表面产生的反射光谱被用于确定独立和附着于基底（在透明或部分/全反射基底上）的堆叠膜层的厚度、光学常数（n&k）等。