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Al2O3 ZNO中椭偏仪检测方案(原子层沉积)

检测样品 Al2O3 ZNO

检测项目 椭偏仪

关联设备 共2种

厦门韫茂科技有限公司

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方案详情文

原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域，例如：制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池；钙钛矿电池的钝化层；有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2，ZnO薄膜，使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性&#823&#823

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原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域，例如：制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池；钙钛矿电池的钝化层；有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2，ZnO薄膜，使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性。

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产品配置单

厦门韫茂科技有限公司为您提供《Al2O3 ZNO中椭偏仪检测方案(原子层沉积)》，该方案主要用于Al2O3 ZNO中椭偏仪检测，参考标准《暂无》，《Al2O3 ZNO中椭偏仪检测方案(原子层沉积)》用到的仪器有桌面型原子层沉积系统ALD 、双腔体等离子体原子层沉积系统 QBT-T。

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