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原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域,例如:制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池;钙钛矿电池的钝化层;有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2,ZnO薄膜,使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性。
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厦门韫茂科技有限公司为您提供《Al2O3 ZNO中椭偏仪检测方案(原子层沉积)》,该方案主要用于Al2O3 ZNO中椭偏仪检测,参考标准《暂无》,《Al2O3 ZNO中椭偏仪检测方案(原子层沉积)》用到的仪器有桌面型原子层沉积系统ALD 、双腔体等离子体原子层沉积系统 QBT-T。
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