当前位置：其他 > 方案详情

德国SPS(POLOS)旋涂机 SPIN150x参数

检测样品其他

检测项目 PDMI

关联设备共1种下载方案

北京汉达森机械技术有限公司

银牌会员 0 篇解决方案

方案详情文

POLOS SPIN150x规格硬件

智能文字提取功能测试中

POLOS SPIN150xPOLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学品POLOS SPIN150x腔体规格外壳材质天然聚丙烯（NPP）最大底物直径最大可用 6” (150 mm) 晶圆最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物POLOS SPIN150x适用范围:• 涂层• 清洗冲洗/烘干• 显影• 刻蚀• PDMI• 其他程序POLOS SPIN150x硬件规格：液体过滤疏水阀•POLOS SPIN150x独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式用于注射器或喷嘴的中心注射支架• 盖锁和真空传感器确保用户安全• 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）• USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件更新POLOS SPIN150x驱动装置规格：• 间接无刷驱动装置• 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）• 高加速度、高精度• 加速/减速 1-30.000 RPM• 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项POLOS SPIN150x规格硬件 SPIN150x：液体过滤阱独特的外壳和排水管设计，可在现场的桌面和甲板模型之间切换用于注射器或分配喷嘴的中心注射支架盖子锁和真空传感器，确保用户安全大型（可拆卸）触摸屏显示器USB 端口用于将配方存储在 USB 驱动器上并用于软件更新规范驱动单元：间接无刷驱动单元 - 高达 12.000 RPM（取决于基板/卡盘）高加速度和高精度加速/减速 1 - 30.000 RPMCW、CCW 旋转和水坑选项免费卡盘和适配器：1 x A-V36-S45-PP-HD - 真空吸盘1 x D-V10-S50-PP-HD - 片段适配器

关闭