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n产品简介
BASIXX SH22是一款台式半自动匀胶机热板复合系统系统，功能强大，具有匀胶、清洗、显影、干燥、预烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底胶涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake坚膜)工艺等多种功能，样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。
n产品特色
匀胶机：
÷ 落地台式机，结构紧凑，所有单元集成在一台设备中，集成度高。
÷ 手动装载/卸载
÷ 衬底最大可达 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
÷ 软件提供用户友好的操作
÷ 直驱旋涂电机
÷ 全轴电机驱动且完全可编程
÷ 带安全中断传感器的透明盖
÷ 外壳上有电源开关 ON / OFF
÷ 工艺腔和可更换防溅环，易于拆卸以进行清洁。
÷ 系统材料为PP材质，耐所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。
÷ 包括 0.5 升废液瓶
热板：
÷ 温度高达 300°C
÷ 电子驱动升降pin
÷ 支撑pin材料为不锈钢，尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)
÷ 程序控制支撑pin的升降（不同停止的速度和步数）
÷ 热板通过真空固定晶圆
÷ 热板盖手动控制
÷ 集成排烟装置
÷ 通过设置receip自动进行加热处理
n技术数据
匀胶机：
÷ 衬底尺寸: 最大可达 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
÷ 电机转速: 最大 10.000rpm, 步长 1 rpm
÷ 电机加速: 最大 4.000 rpm/s
÷ 步进时间: 1 至 999.9 s，步长为 0.1s
÷ 工艺腔材质: 由天然 PP 制成
÷ 系统架构材质: 由白色 PP 制成
÷ 液体线路：
3线: 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞
5线: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞
热板：
÷ 衬底尺寸: 最大可达 ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 温度: 最大可达 300°C, 步进1°C
÷ 温度精度: < ±1°C@100°C
÷ 支撑pin: ?50 mm (?2”) ,最大可达 ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 热板材质: 硬质阳极氧化铝
÷ 加热盖材质: 不锈钢
n选项
匀胶机：
÷ 自动液体输送臂 ÷ 液体罐 ÷ 防溅环
÷ 废液池 ÷ DI水冲洗 ÷ N2吹扫
÷ 热板 ÷ 不同类型的夹具 ÷ 中心定位模块
热板：
÷ 支撑pin材料 ÷ 边缘支撑pin ÷ N2吹扫
÷ HMDS 热板系统（六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆） ÷ 600℃热板 ÷ 真空泵
1年
是
有
培训人数不限
半年1次
免费维修更换零配件
接到用户产品维修需求，3小时内做出反应。
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