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在冷等离子体模式下形成的、等离子体衍生的多原子离子NO+,可通过电荷转移反应在反应池中产生少量的 Ar+,在m/z = 40 处干扰 Ca 的测定。Agilent 8800 ICP-MS/MS 在 ICP-MS/MS 特有的 MS/MS 模式下运行,可以阻止等离子体衍生离子进入反应池,防止多余反应的发生。这可以使 Agilent 8800 电感耦合等离子体串联质谱仪在检测UPW 中的 Ca 时实现 41 ppq 的 BEC
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安捷伦科技(中国)有限公司为您提供《半导体制造使用的超纯水中钙检测方案(ICP-MS)》,该方案主要用于集成电路中化学性质检测,参考标准《暂无》,《半导体制造使用的超纯水中钙检测方案(ICP-MS)》用到的仪器有Agilent 8900 ICP-MS/MS。
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