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半导体、锂电池中颗粒物检测方案(电镜制样)

检测样品 集成电路

检测项目 化学性质

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日立科学仪器（北京）有限公司

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方案详情文

近年，在半导体和电池材料的生产制造过程中产生的异物颗粒在诸多领域进行自动检测的需求增加了。因此，我们开发了一种软件“宏功能”，用于减少日常作业负担。

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近年，在半导体和电池材料的生产制造过程中产生的异物颗粒在诸多领域进行自动检测的需求增加了。因此，我们开发了一种软件“宏功能”，用于减少日常作业负担。‍

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日立科学仪器（北京）有限公司为您提供《半导体、锂电池中颗粒物检测方案(电镜制样)》，该方案主要用于集成电路中化学性质检测，参考标准《暂无》，《半导体、锂电池中颗粒物检测方案(电镜制样)》用到的仪器有离子研磨系统ArBlade5000、日立中型扫描电镜SU3800。

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