氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏

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氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏上海伯东客户某专门生产半导体配管配件工程公司, 定制高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体厂务端, 用于输送高压氧气, 氢气等. 客户从现场量测管路, 然后对不同口径的管路进行焊接, 因半导体行业的苛刻使用要求, 配管配件漏率值需要达到 <1E-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作并进行快速的泄露测试, 经过上海伯东推荐最终选择移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 和 ASM 392!上海伯东半导体用配管配件氦质谱检漏方法:考虑到管路衔接长, 需要满足客户快速的检漏要求, 上海伯东德国 Pfeiffer ASM 390 针对此类应用提供大漏模式: 定性泄漏检测从 100 mbar 到 20 mbar 开始 (进入测试模式之前) 此一区间即可进行检漏, 快速缩短检漏时间！检漏配置: 氦质谱检漏仪 ASM 390,客制转接头和配套密封件一套,喷枪和配套氦气瓶一套检漏方法:根据配管实际使用工况,采用检漏仪真空模式进行检漏,设置漏率值 1E-9mar l/s, 首先对焊接的单个配管进行检漏, 配管组装完成后, 对整个管线再次进行检漏. 按照下图组装样品, 在怀疑有漏的地方喷氦气（一般需要检漏的部位是焊缝或连接处), 如果有漏, 检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.1. 将制作好的各种管件加工焊接, 然后通过波纹管连接至氦气检漏仪 ASM 390 进行检漏2. 配管组装完成后, 对整个管线再次进行检漏3.测试各个管路时, 可依照客户需求将数据记录储存 (并可储存至计算机内)结论: 经过实际测试, 无论单个管径是 6’, 8’ 或 10’, 长度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以内达到客户检漏底压需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又精准, 大大提升了工作效率!到现场配管完成后检漏, 所有管件组装后, 总长度达几十米, 与之前的检漏时间, 工程花费时间可能趋近于一天, 但选用上海伯东 Pfeiffer ASM 390, 在整体抽校与检漏时间上, 几乎缩短了一倍时间！上海伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 技术参数型号ASM 390ASM 392检测气体4He, 3He, H2最小检测漏率真空模式: 1X10-12 mbar l/s吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s对氦气的抽速10 l/s25 l/s, 内置2台分子泵前级泵抽速35 m3/h进气口最大压力20 mbar20 mbar无校准的启动时间(20°C)2 min进气口DN 40 ISO-KF响应时间< 1 sInterface,  选配RS-232, I/O, Ethernet重量125 kg130 kg结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解半导体用配管配件检漏, 请参考以下联络方式上海伯东: 罗先生