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本文介绍了 Agilent Cary 7000 UMS 自动进样器的一项新功能,可实现旋转 (Φ) 和径向 (z) 的样品位置控制。安捷伦固体自动进样器可对单个大直径样品(最大直径可达 8 英寸)实现自动化的无人值守映射。示例中展示了在 4 英寸直径蓝宝石基底上沉积的氧化锌锡 (ZTO) 薄膜上获得的空间光谱信息,结果为分辨率 2 mm × 2 mm 的正方形。该方法可实现间带隙能量映射在基底的整个直径范围内。
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安捷伦科技(中国)有限公司为您提供《使用配备固体自动进样器的 Agilent Cary 7000 全能型分光光度计 (UMS) 进行涂层晶圆分析》,该方案主要用于其它中/检测,参考标准《暂无》,《使用配备固体自动进样器的 Agilent Cary 7000 全能型分光光度计 (UMS) 进行涂层晶圆分析》用到的仪器有Agilent Cary 7000 全能型分光光度计(UMS)。
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