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本文参考相关行业标准，利用岛津GCMS-QP2020 NX气质联用仪，建立了三氯氢硅中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷和甲基三氯硅烷3种甲基氯硅烷含量的检测方法。在0.5~100 mg/kg范围内，3种甲基氯硅烷化合物线性关系良好，相关系数均在0.999以上。取1.0 mg/kg的标准混合溶液，连续5针，进行重复性测试，各组分峰面积RSD均小于5%。加标回收实验中，3种化合物平均回收率均在90%以上。该方法操作简便，能够有效的测定三氯氢硅中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的含量。
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本文参考行业标准《YS/T1300-2019 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的测定 气相色谱-质谱法》，利用岛津GCMS-QP2020 NX气质联用仪，建立了三氯氢硅中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的检测方法。在0.5~100 mg/kg范围内，3种化合物线性关系良好，相关系数均在0.999以上。取1.0 mg/kg的标准混合溶液，连续5针进样分析，各组分峰面积RSD均小于5%。加标回收实验中，3种化合物平均回收率均在90%以上。该方法操作简便，能够有效的测定三氯氢硅中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的含量。
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岛津企业管理（中国）有限公司为您提供《GCMS法测定三氯氢硅中3种甲基氯硅烷含量》，该方案主要用于热电材料中三氯氢硅 甲基氯硅烷检测，参考标准《暂无》，《GCMS法测定三氯氢硅中3种甲基氯硅烷含量》用到的仪器有岛津四极杆型气相色谱质谱联用仪GCMS-QP2020 NX。
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