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光刻胶关键物质-光酸剂-CAD 检测器应用简报

检测样品 集成电路

检测项目 光刻胶中的光酸剂

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英迈仪器（天津）有限公司

银牌会员 4 篇解决方案

方案详情文

光刻胶中的光酸剂（Photoacid Generator, PAG）是关键成分，在紫外曝光后释放酸，驱动光刻胶的化学反应。英迈仪器的**电雾式检测器（CAD）**能够胜任对光酸剂的检测，特别是在监控PAG浓度及其稳定性方面，对保障半导体制程至关重要。

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英迈仪器（天津）有限公司为您提供《光刻胶关键物质-光酸剂-CAD 检测器应用简报》，该方案主要用于集成电路中光刻胶中的光酸剂检测，参考标准《暂无》，《光刻胶关键物质-光酸剂-CAD 检测器应用简报》用到的仪器有（CAD）电雾式检测器 Instrumax CADetector a1、电雾式检测器（CAD）CADetector a1、氮气发生器一体机 N2 Generator g15。

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