X射线衍射仪（XRD）
XRD
第1楼2007/11/23
薄膜测量需要平行光系统.现在所有公司都在这方面做了相应的工作,都能实现.
aries9
第2楼2007/11/26
国产的仪器能否做薄膜不是特别清楚，不过只要能实现平行光应该就可以测薄膜。需要在入射光路上加个镜子。
heyeah
第3楼2007/12/20
如果要测多层纳米级薄膜的每层的厚度和密度，除了要求平行光，还需要精度很高的专用的样品台，具体楼主可以向各个厂家咨询下。
patric
第4楼2007/12/20
可以尝试用椭圆偏振或者测X射线反射率的方法
firefall
第5楼2007/12/21
我也想用XRD测试薄膜，听说用定theta角转动2theta做小角度掠射，不知道具体怎么做。 请教各位前辈，怎样用XRD测试薄膜的定向度？
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