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【求助】请教XPS与AES的区别是什么，谢谢！

XPS及其它能谱仪

  • 请问AES和XPS的区别是什么，都做溅射分析全谱，结果有什么差别么？谢谢！
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    +关注 私聊

  • feixiong5134

    第1楼2008/10/18

    AES是俄歇电子能普
    XPS：光电子能普
    因为俄歇电子是二次电子
    所以非常弱
    这样就造成俄歇的取谱深度更小
    结果应该查不多
    没有必要都做吧？
    个人意见

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  • duwf

    第2楼2008/11/21

    AES和XPS得到的信息差别很大。XPS属于光电效应，而AES是入射电子打出原子的一个内层电子后，留下一个空位，高能级的电子填补这个空位同时释放能量，这一能量使同一个原子内的另一个电子被发射出来。因此AES谱与峰位置与入射电子能量无关。而XPS光电子能量与入射X射线能量有关。
    相同之处是它们都能得到元素信息。但是XPS比较适合得到价态信息，而AES获得价态信息很困难。
    AES的特点是电子容易聚焦，所以可以得到微米以下的空间分辨率，甚至达到10nm以内。此时又被称为SAM。

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