【求助】SEM/EDS仪器测量参数与TEM/EDS仪器测量参数比较

不知道你是否找到懂技术方面的人的答案，
但是关于这个答案我有一些看法，仅此参考：
这SEM和TEM在实际上，两者获得能谱原理是一样的，
两者有不同可能有几个方面：
1）SEM的beam太强，很容易破坏颗粒物，如果你样品镀了膜更是不能比较。
这两者虽然你选择的差不多，但是SEM的的BEAM太大，和TEM能进行有效控制完全不同。再加上，两者的发射源也不同。
2）我想你用EDS，最后应该用半定量这个说法来比较，他们应该有一个范围的差别，如果作定量的比较，从技术角度等，觉得不太可能。
3）样品厚度啊，真空条件也是一个因素。
4）你在SEM上用的hoder和TEM肯定是不一样的。这些HODER的材料也会影响到EDS的成分的差别。
希望这些对你进一步思考你的样品有帮助。