【序号】： 【作者】：G Gould, EA Irene 【题名】：The Influence of Silicon Surface Cleaning Procedures on Silicon Oxidation 【期刊】： Journal of the Electrochemical Society 【年、卷、期、起止页码】： 1987，哦路么134，苏俄4，.1031-1033 【全文链接】：http://scitation.aip.org/getabs/servlet/GetabsServlet?prog=normal&id=JESOAN000134000004001031000001&idtype=cvips&gifs=yes
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