【讨论】请教个用电子能谱看厚度的问题

厚度多少？aes 测试信息深度比 xps浅。你是希望用离子枪溅射刻蚀的方法来测试厚度么？还是其他？要求助最好说详细点

用AES看外延膜厚度有一个基本要求，一是样品要导电，二十外延膜中有一种明显区别于基体的元素成分。通过跟踪有区别的成分来标定从表面到界面。
试验方法可以采用断面线扫描和离子刻蚀两种方法，都是破坏性的。对于比较厚的膜层宜采用断面线扫描，膜层较薄的两种方法都可以。
离子刻蚀的方法如果要求精度不高，可以根据刻蚀时间估算，如果要求比较高可以先标定刻蚀速度。
XPS和AES的信息深度差不太多，不导电的就可以考虑用XPS了。只是XPS的线扫描方法精度在十微米左右，AES的线扫描最大精度可以达到十纳米以内。

恩，不错，
另外，如果很薄的话，还可以用改变飞离角（take-off angle）的方法进行无损厚度分析，似乎有这种技术，具体没做过。