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【求助】SEM测试薄膜样品

  • rainflying666
    2010/01/07
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们这边测试薄膜样品时,以前都是用的20KV的电压,可最近发现一些薄膜样品上出现裂痕的现象,是不是电压设置高了还是怎么回事呢?可是以前都是好的啊!请教各位了
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  • rainflying666

    第1楼2010/01/08

    怎么没人理我呢?

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  • insulater

    第2楼2010/01/08

    什么材料构成的?

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  • fengyonghe

    第3楼2010/01/08

    可能是薄膜的成分有波动,例如某些可挥发物质或水分含量高了,真空干燥时出现收缩裂纹。

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  • rainflying666

    第4楼2010/01/12

    有可能像专家说的这样,因为是新进的一批料,而且测了好多都是这样的!

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  • huangtao0307

    第5楼2010/01/13

    可能是電壓有點大了,您要做能譜嗎﹖如果不做的話可以把電壓放小一點的

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  • rainflying666

    第6楼2010/01/13

    放到15KV试过啊,不过分辨率达不到,上面有些孔一样的东西照不清晰的!所以还是用了20KV!

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  • HNR2323

    第7楼2010/01/21

    应该是电压太大的原因
    薄膜一般为有机成分,电子束轰击导致样品局部过热开裂
    可以把spot size调小一些尝试看

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  • rainflying666

    第8楼2010/01/21

    这类样品送出去做冷场了

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  • guanjun19860820

    第9楼2010/01/22

    薄膜样品当然要降低电压了!

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  • 永远的菜鸟

    第10楼2010/01/30

    感觉也是电压高了。

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