透射电镜（TEM）
penguinle
第1楼2010/01/12
我做过600nm左右的Si balls，用EDS足够了。如果你只是想找N，O，为什么不用EDS？简单方便的多。
wl030120
第2楼2010/01/13
我的是800nm左右的汞球，根本不能照，用200kV的电子伏特照下去一下就挥发了。所以想用下别的方法比如ELLS。
第3楼2010/01/13
你说的是EELS吧，EELS也是在电镜中的，也是需要200kv啊，最多通过STEM可能damage会小点，但是800nm的厚度基本不可能做EELS
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