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【求助】关于PECVD沉积设备的问题求高人解答

union1

2010/03/04

电化学综合讨论

PECVD使用AE的射频电源频率13.56MHz，在使用中发现腔体内有电弧产生，辉光随着反射功率的跳动有明暗变化，调节过极板间距、气压和功率，减小气压和极板间距，没有什么改善，刚开始的时候没事，开5分钟左右就有电弧了。之前匹配箱发生过放电现象，拿去修理了，是过载保护出了问题，不知道腔体放电和匹配箱有没有关系？

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isomer

第1楼2010/03/04

你好，新手版的帖子不会在最新1000帖显示的，看到的人很少，所以下次记得发到相关版面去。

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