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请教：如何从摇摆曲线或theta-2theta曲线计算薄膜厚度（几百nm）

X射线衍射仪（XRD）

  • 请教：如何从摇摆曲线或theta-2theta曲线计算薄膜厚度（几nm至几百nm）
相关话题
    +关注 私聊

  • 第1楼2005/12/06

    很困难。
    如果有干涉条纹出现，就比较简单。但误差约10％。（适用于100nm以上）

0
    +关注 私聊

  • 第2楼2006/06/16

    这个能算吗？
    可以用SEN做个分析塞

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