【求助】EDS时，导致此区别的原因

仪器参数不尽相同吧。第一张图加速电压较低，第二张加速电压高一点。除Cu外，其它杂质含量也有较大差别。各能位所代表的元素记不太清了，好像有Si,P等。

如果你确认仪器参数相同，产生这种差别的原因是谱图3的样品与样品台之间没有连接好，使导电性变得很差。样品因积累负电荷造成实际高压降低。使Cu的L线系增强K线系减弱。我曾验证过的结果也是这样的。

正常谱图如下

我不懂SEM的参数调整。如果只从样品上考虑，有一种可能就是Cu在两种材料里的分布不一样。第二个材料里，Cu可能埋得更深，低能信号被样品自身大量吸收掉了。

你可以用纯铜（没有纯铜黄铜也可以）在20千伏和5千伏分别收谱，比较一下两个谱图就会一目了然。加速电压决定了K系与L系的比例关系。