【求助】EDS测试深度的问题

EDS实际上是利用电子束激发样品的特征X射线来进行元素分析，一般激发深度为0.5微米至5微米深度。可以进行元素的定性和定量分析，有专门用于元素分析的电子探针（EPMA），也可以作为SEM和TEM的附件，在观察样品形貌的同时进行元素分析。
EDS做高精度定量不太合适。

刚学EDS时间不长，关于EDS测试深度，现在有些不理解。（EDS是否有这样一个概念？我现在不敢确定，因为根据得出的结果，来分
有这样的概念而且很重要
析，似乎这样才能解释得通）EDS是测材料表层下面几um的元素分布，还是精确测量材料表层的元素分布？假定一个材料表面有一很
主要是测材料表层下面几um的元素 ，但极表层元素也会被激发。不是精确测量材料表层的元素分布
薄的相，现在想要测这个相的元素组成，那么是不是说EDS出来的结果有可能是测的这个薄相下面基体的元素分布，而不是想要测的这个表面的这个薄相？这就导致出来的结果是不可信的？ 是错误的？ EDS出来的结果主要是测的这个薄相下面基体的元素分布，而不是想要测的这个表面的这个薄相，也包含薄相元素。不是结果不可信，是有这个规律。要测极表面的成分，应该使用俄歇谱仪。EDS Mapping得到的结果是（1）测量表面的元素分布的信息;(2)距表面一定um距离的那一层下表层的元素分布信息;(3)距表面一定u
测量的是（2)距表面一定um距离的那一层下表层的元素分布信息，但也会包含极表面的元素
m距离的那一层下表层直至样品表面，这一um厚度内的元素分布信息？究竟哪个是对的？不十分理解是不是通过mapping得到的信息是样品表层一直到表层以下一定um那一层，这一薄薄的整个体的信息，就上面的描述， 假定表面的薄相被打透的话，是不是这一表面薄相与打到的下面的基体的元素结果的叠加？
会有叠加但极表层不是主要的
如果是这样的话，为什么我得到的结果，好像差不都是下面基体的元素信息？是表面那层薄相很薄，得到的信息少吗？还是它里面的某元素占整个体的元素比较小？还是因为它原子序数小？这三点原因同时存在

我也测过表面镀Pt，是纯Pt，而能谱结果给出的Pt含量只有8%左右。看看这张图

谢谢楼上大牛的解答，你的回答很全面和清楚。使我这几天对这个问题的迷惑变得较清晰了。谢谢无私的帮助
（补充：您能告诉我上面那张图里的Zm和Zo的区别吗？那两个Z下标看不太清楚？
是不是为了说明通过改变电压，来使材料表层被击穿的深度更深，是这样的吗？

你说得对，再给一张完整图。

我也有问题请教大牛们。如果一种元素以几纳米的尺度分布在基体里。这样打面分布图能区分吗。比如是碳元素5纳米小球分布在一个基体里。