【讨论】【解读材料表征仪器参数之显微镜篇】第一期：扫描电镜（参与有重奖！）

asahi42 2011/05/05

小M的帖子是一定要顶的！[img]https://simg.instrument.com.cn/bbs/images/brow/em09502.gif[/img] 关于光阑，跟大家交流一下自己的看法： 1：光阑的作用是遮挡杂散电子，并在物理（非电磁）层面限制最终轰击到样品表面的电子的数量，即束流大小。一般要和电磁的束流限制功能（如Probe Current参数调节）配合使用以达到最佳效果。 2：光阑孔越多，可供选择的参数量就越大。在其它参数不变的情况下，使用的光阑孔径越大，则束流越大，束斑越大，图像信噪比越好，图像信号量越大，景深越差，图像分辨率越差，适合于能谱、波谱等要求大束流的分析；使用的光阑孔径越小，则束流越小，束斑越小，图像信噪比越差，图像信号量越小，景深越好，图像分辨率越好，适合于钨灯丝的高分辨和场发射的超高分辨观察。因此，光阑在“光阑孔”这个指标上一般需参考两个因素：一是光阑孔数量，二是最小孔径大小。 3：SEM的分辨率和最终束斑有关，下行电子束行进的路线越直，受到的干扰便越少，对束斑的负面影响越小。因此一般推荐用多孔可调光阑，其意义是在不更改电子束路径的前提下，用光阑孔的圆心去适应电子束的中心，而不是不得不用电磁线圈牵引电子束，使其通过不可动的光阑孔。 以上，欢迎各位交流讨论~

春天的桃子 2011/05/04

冷场和热场得区别： 冷场发射式最大的优点为电子束直径最小，亮度最高，因此影像分辨率最优。能量散布最小，故能改善在低电压操作的效果。为避免针尖被外来气体吸附，而降低场发射电流，并使发射电流不稳定，冷场发射式电子枪必需在10-10 torr的真空度下操作，虽然如此，还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing)，以去除所吸附的气体原子。它的另一缺点是发射的总电 流最小。 热场发式电子枪是在1800K温度下操作，避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面，所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度，并能在较差的真空度下(10-9 torr)操作。虽然亮度与冷式相类似，但其电子能量散布却比冷式大3~5倍，影像分辨率较差，通常较不常使用。

linzq 2011/05/21

为什么说热场的分辨能力做不过冷场呢？问题就在于它的长项束流大。 束流越大束斑面积越大。虽然仪器的分辨能力不是由一个因素决定的，但是这个是几个重要因素之一。而且也是几个具有决定因素的原因之一。 目前看蔡司的SUPRA55要比FEI（nano)的分辨能力强就是55的束流只有20NA而FEI的束流在100NA。 所谓的麦泽伦高分辨结果，最重要的一项也就是降束流（所谓的单色器）。这在冷场不是问题而在这里却要花大价钱来解决。很不值 所以说热场的高分辨只有向低束流来要，可是由于它的真空要求比较低，且镜筒设计是按照高束流来的，所以不管怎样改都不会比冷场强。