【求助】请教AES的定量精度如何？

不应该说比XPS差，实际上应该是差不多。
对于含量小的元素由于受到噪声影响比较大，所以“精度”可能会有很大影响，这一点在XPS中也是一样的。
对于含量相对较大的主成分定量的“精度”还是比较高的。

可我查到的一些文献都声称AES的精度不如XPS。但我没亲自做过AES，所以不清楚到底结果如何。请问你有这方面的经验吗？再说AES应该只对原子序数低的元素灵敏吧

我曾经做过几次对比试验，计算的结果是比较接近的。但是由于AES样品对导电要求，不太可能有太多的比较。有时候仪器的标称和实际应用还是有一定差别的。至于原子序数的问题我没太注意过。

个人认为XPS和AES只是做半定量的，所以讨论定量是无意义的
个人认为讨论含量一般都是一系列的样品，然后通过两个元素的比值还是有意义的

意义大着呢。差一点就可能完全不同的结论。

楼主非要认为半定量的仪器讨论定量有意义，那也没办法

貌似你很懂的样子，高手！