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关于离子溅射仪问题请教

  • jianjian-s
    2011/08/17
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 我们的离子溅射仪在每次换Pt靶材之后总是会出问题，会提示你由于真空度的原因或者chamber内contamination的原因不能进行discharge，为什么呢？各位有没有遇到过此类问题呀？检查真空度也达到了要求，内部也擦过很多了，貌似也擦干净了吧，还是不行。
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  • fanger

    第1楼2011/08/18

    问一句，您是什么型号的溅射仪呢？

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