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电子工业用气中颗粒物的测定

颗粒度测量

  • 目前电子工业用气中对颗粒只写：供需双方商定；看到有的客户提出≥0.02 µm的particle：< 1 pcs/ft3；大家有用过的仪器吗，可否推荐些可选的型号？
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  • Gas

    第2楼2011/09/09

    谢谢专家jacoblin的信息！大家有用过PMS的Particle Counter，可否分享下相关经验？

    jacoblin(jacoblin) 发表:对于气体中微量颗粒的测量，可以与颗粒测量系统公司联系。他们的仪器应该能实现楼主的要求。
    颗粒测量系统公司有两个主要产品系列：颗粒计数和分子级污染物监测。颗粒计数器用于空气（无尘室）、液体（去离子水和化学制品）和各种气体。
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