weanny_wu
第4楼2011/11/04
一般意义上的加热板就是加热功能,对温度要求不高
但随着现代技术的发展对加热板有了更高要求。
例如光刻工艺及其相干技术是微电子机械系统(MEMS)加工工艺的重要构成部门。均胶以及烘焙是光刻工艺中不成缺少的一道儿工序,为增长胶层与硅片表面粘附能力,提高在接触式暴光中胶层与掩模版接触时的耐磨性能及不变胶层的感光灵敏度,通常接纳烘箱或者加热板等加热装备对光刻胶举行干燥。烘箱加热由于速率慢、且加热易造成表面以及内部受热不均匀,效验欠佳!而加热板易于到达在胶的厚度标的目的且快速均匀烘焙等要求,今朝越来越多地接纳加热板加热的方式。
所以加热板的表面温度均匀性、温度控制精疏密程度、温度上升速率等是选择加热板的首要性能指标思量。