6390LV型SEM

日本电子钨灯丝扫描电镜核心技术凑合，和日立的差不多吧，但为了压低成本，用现在的眼光看使用了可以说很差的配置。尤其造价比例很高，也是非常关键的高真空系统，他们采用油扩散泵，真空电磁阀。

扩散泵冷却水温在15~25℃之间即可很好工作。楼主的DP冷水机，应该有温控装置，温度范围可调,只要设定在使用温度区间内就可以。 一般来说,DP对冷水机温控精度要求不高, 设定3-5℃温控范围温没有问题，这种低精度冷水机质量一般较差，噪音会较高，散热也会有一些问题。

1、上面说了既然有温控，就应该起作用。如果温控下限失效，有的制冷机较大，一直冷下去，温度低到一定程度，肯定会自动停机保护。但似乎13℃，还不至于出问题。如果冷水管一直比环境温度低较多，会凝露，积少成多，流下来，可能会对有些部件造成损坏。

2、开机过程中，这个提示正确的，是扩散泵油加热过程，但PLEASE WAIT　Ａ LITTLE，我认为最好等30分钟。等你关机的时候，冷水机需要继续工作30分钟左右，把扩散泵油再降回常温，才可关闭主机。
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以上仅供参考

下面说点相关题外话。
随着技术进步和经济发展，目前几乎所有客户新购扫描电镜，都不愿意使用油扩散泵配置，大多认准涡轮分子泵真空系统，无需冷水机，无扩散泵油污染，真空清洁，可随时开关机。(如果你去问KYKY中科科仪的高级电镜维修工程师李林涛先生，他恨不得赶紧把所有KYKY系列扫描电镜DP都换掉，这是为什么呢？）

如下图所示，涡轮分子泵扫描电镜用起来非常舒适， 气动阀门真空密封度可靠性更高。

驰奔先生的解释精准到位~题外话倒真不偏题，TMP终将完全取代DP。只是您这张图的下半部分太晃眼睛了，再看下去，耳朵都要聋了
另外问驰奔一个事，老一代TEM的操作员还是比较喜欢DP，而且说DP在TEM里运作比TMP能达到的真空度高？这是什么情况？

我来回答楼主问题：
1.不是必须是这个温度，循环水机应该是设置好了的——只要循环水机正常，那么水的温度就会被自动调节。如果开机时水温超过22℃，那么循环水会排热，将水温降至18℃，如果低于22摄氏度，循环水机就不排热，这时水会吸收扩散泵的热，并升温，直至22℃。13℃的话，只要扩散泵加热正常，循环水排热正常，那么水温就会在上述区间内徘徊，请注意观察。

2.看见这条提示，说明扩散泵没有在规定时间内到达规定的温度，多等会而就好了，但是如果每次都这么提示，就得考虑是不是该更换电热盘或者检查热传感器是否损坏了。