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求文獻3篇

hanc1202

2012/04/28

文献检索－互助

【序號】：1

【作者】：袁渊明弥谦潘婷

【篇名】：磁场强度对磁约束磁控溅射源工作状态的影响

【期刊】：《2010年西部光子学学术会议摘要集》

【全文連接】：http://cpfd.cnki.com.cn/Article/CPFDTOTAL-SXGX201007001017.htm

【序號】：2

【作者】：弥谦潘婷袁渊明

【篇名】：磁约束磁控溅射源工作特性及沉积速率的分析

【期刊】：《西安工业大学学报》 2011年03期

【全文連接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-XAGY201103005.htm

【序號】：3

【作者】：牟宗信李国卿柳翠贾莉张成武

【篇名】：有开放约束磁场磁控溅射系统等离子体引出

【期刊】：《真空科学与技术》 2003年04期

【全文連接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-ZKKX200304005.htm

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