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z position的怪事_F20

madaowo

2013/03/14

透射电镜（TEM）

如题，等合轴等做调好后，调节样品杆使入射束方向为【001】Al。此时alfa值为-25°左右, beta为5.6°。当插入objective aperture的时候机器有警报声，提示说 stage touch， solved by system。然后换了个区域，重新调入射束方向，alfa值为10°左右, beta为7.3°，再插入aperture，没有警报声！可当取出样品杆的时候，电脑提示column 的真空过高，没办法，只好重启！

我觉得应该是由于之前的aperture和样品杆的碰触导致了后来的破真空，我的疑问是，以前我也有把alfa值调到-25°左右（至少是-20），也没有出现类似的情况啊

也问了设备管理员，他说应该是我的 z position太低了，问题是我只是把样品调到 eucentric position啊.

我用的是FEI的F20，我只了解TEM方法的原理，至于如何设置设备说实话真的是很欠缺。请各位专家给些意见吧，谢谢了！

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洪星二锅头

第1楼2013/03/14

这种情况是有的，一般仪器都有一个最大的倾转角，比如XY均为正负30°，但是只是指在一定高度下单独倾转某一个方向的极限，如果是在Z值比较大的情况，再对X和Y同时进行大幅度倾转就需要注意

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madaowo

第2楼2013/03/14

版主高见
我做铝合金的，经常需要倾转试样到某一轴向，有时候就差那么1-2度就转正轴了
呵呵
看来保险点，以后不要转太厉害，正负20度应该没问题的吧我想

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洪星二锅头

第3楼2013/03/15

我之前也是做铝合金的，7系的，由于里面的晶粒比较多，大部分的界面都属于小角度晶界，建议可以先不用倾转，有部分的晶粒其实正好或者是非常接近处于你要的带轴上，不过这个需要耐心的找

如果下次出现孔洞边缘Z轴的值太高的话，可以考虑将样品取出来换一面上电镜，那么这个区域的Z轴就不会太高了

如果XY的机械极限是30°的话，Z为正负200，当其中一个轴达到25以上，Z在100以内的话，另外一个轴尽量控制在20度以内，再往上的话，就有可能报警了，就这个情况，我遇见过几次报警的情况了

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天黑请闭眼

第4楼2013/03/15

倾转角度倒是注意过，但Z轴的确没有想过，谢谢这个信息！
洪星二锅头(coime) 发表:我之前也是做铝合金的，7系的，由于里面的晶粒比较多，大部分的界面都属于小角度晶界，建议可以先不用倾转，有部分的晶粒其实正好或者是非常接近处于你要的带轴上，不过这个需要耐心的找

如果下次出现孔洞边缘Z轴的值太高的话，可以考虑将样品取出来换一面上电镜，那么这个区域的Z轴就不会太高了

如果XY的机械极限是30°的话，Z为正负200，当其中一个轴达到25以上，Z在100以内的话，另外一个轴尽量控制在20度以内，再往上的话，就有可能报警了，就这个情况，我遇见过几次报警的情况了

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madaowo

第5楼2013/03/15

谢谢，你的建议十分有用。

这个方法我之前倒是没想过，一般我是先找几个比较薄的区域，储存好位置，然后一个一个倾转知道满意为止。下次试试你说的方法吧

关于Z的值，我之前都没注意过，想eucentric position对任何样品应该是一样的（认为是设备本身的设置，跟样品应该无关），看来是错的了。

再问一下版主，这方面的知识哪里可以活得啊，有相关资料推荐看看么，谢谢了
洪星二锅头(coime) 发表:我之前也是做铝合金的，7系的，由于里面的晶粒比较多，大部分的界面都属于小角度晶界，建议可以先不用倾转，有部分的晶粒其实正好或者是非常接近处于你要的带轴上，不过这个需要耐心的找

如果下次出现孔洞边缘Z轴的值太高的话，可以考虑将样品取出来换一面上电镜，那么这个区域的Z轴就不会太高了

如果XY的机械极限是30°的话，Z为正负200，当其中一个轴达到25以上，Z在100以内的话，另外一个轴尽量控制在20度以内，再往上的话，就有可能报警了，就这个情况，我遇见过几次报警的情况了

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