扫描电镜（SEM/EDS）
asahi42
第1楼2013/08/21
LZ您机械泵的滤油器该换了吧。。。
gegeyc88
第2楼2013/08/22
用的是机械油泵，时间长了要将油泵排污。
wuthering
第3楼2013/08/22
这个，自己找个人可以换不，还是必须要日本电子的人过来维护？
第4楼2013/08/22
应该会有一个备品备件，如果没有的话，网上找一个差不多的自己换上去也没问题~
mmmmmmmmmp
第5楼2013/08/26
这个滤油器一般都会有备件的，Oil mister trap ，若是机器长时间没有保养，最好找厂商进行保养一下，包括更换泵油，滤油器，光阑等等。
A明2009
第6楼2013/09/18
大概半年换一次前级泵的泵油。是否是ULVAC或松下的机械泵？
iangie
第7楼2013/09/20
我们都是自己换.......
真空和面机
第8楼2014/01/20
检查过滤器是否污染
maxin2009
第9楼2014/01/21
油脏了，换油
姑苏一梦
第10楼2014/01/28
换油是最简单直接的方法，不过也可以换一下滤油器
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