仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯
立即体验
当前位置： 仪器社区 >基础知识专区 > 物理知识 > 帖子详情

真空镀膜机中辅助挡板的作用

  • laolongtan
    2014/02/18
    • 私聊

物理知识

  • 真空镀膜机（DMP450)中有一个辅助挡板，设计的初衷是为了改善镀膜均匀性，但在实际生产过程中，原机辅助挡板并不能最大改善膜厚均匀性。一个半球形工件盘，基片卡槽分三圈排列，相同蒸发功率，相同时间下，相邻两圈的基片膜厚有差异。从理论上来说，如何通过修正挡板改善膜厚一致性和均匀性？
相关话题
    +关注 私聊

  • laolongtan

    第1楼2014/02/19

    这里的论坛好冷清啊。

0
近期热榜
热门活动
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐

品牌合作伙伴

岛津
岛津
日立科学仪器
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
日本电子株式会社
丹纳赫
丹纳赫
安捷伦
安捷伦
赛默飞世尔科技
赛默飞世尔科技
普析通用
普析通用
欧波同
欧波同
天美
天美
天瑞仪器
天瑞仪器
德国耶拿
德国耶拿
海能技术
海能技术
马尔文帕纳科
马尔文帕纳科
磐诺科技
磐诺科技
上海仪电科仪
上海仪电科仪
梅特勒托利多
梅特勒托利多
聚光科技
聚光科技
莱伯泰科
莱伯泰科
盛瀚
盛瀚
多宁生物
多宁生物
丹东百特
丹东百特
科哲
科哲
卓立汉光
卓立汉光
屹尧科技
屹尧科技
华谱科仪
华谱科仪
宝德仪器
宝德仪器
优莱博
优莱博
HORIBA
HORIBA
布鲁克核磁
布鲁克核磁
举报帖子

执行举报

点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...