扫描电镜（SEM/EDS）
fengyonghe
第1楼2014/02/25
钝化膜有多厚？扫描电镜分辨率是纳米级。
大陆
第2楼2014/02/26
可以，截面扫描电镜即可。
第3楼2014/02/26
“截面扫描电镜”是哪一款型号的电镜？
cvbs11
第4楼2014/02/27
应该是用电镜做截面扫描吧，我个人的理解
sunlinlinsunlei
第5楼2014/03/03
钝化膜有多厚约为65nm，但是有人说扫描电镜做不了钝化膜
第6楼2014/03/05
制样是决定性一步，应该用Ar离子截面抛光机。
zjupengyu
第7楼2014/03/05
抛光后用背散射模式拍照片
姑苏一梦
第8楼2014/03/06
建议用氩离子抛光仪抛光后扫描电镜进行观察，应该是可以实现的
azuoin
第9楼2014/04/03
扫描电镜可以测量钝化膜厚度，但是需要横截镶嵌，比较麻烦。而且，钝化膜厚度通常和晶粒取向有关系。推荐用成像椭偏仪来分析钝化膜厚度，您会发现膜厚和晶粒取向的关系~
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