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FEI场发射扫描电镜模式一下看不清图像

扫描电镜(SEM/EDS)

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  • 我们实验室有一台FEI场发射扫描电镜,模式一下无法聚焦,看不清图像,模式二下可以看清图像但雪花点很大,信噪比很差,请问这是什么原因?

UNM 2015/01/28

虽然没有用过FEI的电镜,但估计这种情况的原因和处理也是类似的: 1.更换其他的探头试试,看有没信号,确认是不是灯丝的问题; 2如果灯丝没问题,那就确认这个这个探头接收有没问题:更改此接收模式的对比度和亮度,另外把连接线的接头拔了重接在试试; 3.最有效和最常用的就是重启机子了。 大概就想到这些了!

emily0000 2015/05/26

你看看电流是不是降到很低或者几乎为零,估计就是灯丝的问题,你把关了之后再重启一下,你看电流是否还是很低,如果是的话,那就是灯丝失效了。我们的电子枪刚换的。

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  • 荆棘鸟fiona

    第1楼2015/01/27

    楼主把拍出来的照片贴上来吧,顺便带上拍摄参数

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  • cvbs11

    第2楼2015/01/28

    ETD模式看不到图像?是不是电子束斑偏了?有没有做自动校正?都做过后还没有图像,有可能是SE的探头或者DSGS板出了问题

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  • UNM

    第3楼2015/01/28

    应助达人

    虽然没有用过FEI的电镜,但估计这种情况的原因和处理也是类似的:
    1.更换其他的探头试试,看有没信号,确认是不是灯丝的问题;
    2如果灯丝没问题,那就确认这个这个探头接收有没问题:更改此接收模式的对比度和亮度,另外把连接线的接头拔了重接在试试;
    3.最有效和最常用的就是重启机子了。
    大概就想到这些了!

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  • 小M

    第4楼2015/03/31

    应助达人

    楼主的提问信息不够全面,没有说明清楚详细问题,只是简单描述了一下故障症状,实在不好猜测和解答

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  • 小M

    第5楼2015/03/31

    应助达人

    上传一些图片,说明一下正常时是怎样的,什么时候和情况下会出现这样的问题,更换样品是否还会再出现,标样测试是否正常。这些都是需要楼主说明的。

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  • emily0000

    第6楼2015/05/26

    你看看电流是不是降到很低或者几乎为零,估计就是灯丝的问题,你把关了之后再重启一下,你看电流是否还是很低,如果是的话,那就是灯丝失效了。我们的电子枪刚换的。

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  • BBLZM

    第7楼2015/08/06

    有以下几种情况的原因:
    1.换不同的模式和探头来回试一下,看有没信号,如果信号不是完全没有,可以考虑是crossover光斑偏离。
    2.如果所有探头都没有光可以考虑探头接收有没问题,更改此接收模式的对比度和亮度(F9),调一下!另外把连接线的接头重接试试;
    3.重启软件 重启机台
    如果以上办法都不能解决问题,请联系供应商吧,估计灯丝不行了要换

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