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蔡司EVO18钨灯丝总是报警断掉！

MEIBU

2015/05/05

扫描电镜（SEM/EDS）

蔡司EVO18，年前两个月出现2-3次真空泵突然停掉的情况，重启一遍后，真空又可以抽上来了。过年断电一周后，真空pump了4次才抽上来，后面好像又正常了。2个月后真空彻底抽不上来，蔡司售后过来说可能是分子泵控制器或者是真空板的问题，这两样东西报价比较高，我们就找别的厂家，判定为控制器的问题，修了一下，结果拿回来后偶尔可以抽起真空，这时新问题又出现了，开枪时电压可以达到目标10KV，电流到200uA时，就报警灯丝断掉，可是实际上灯丝并没有断，这时厂家又说可能需要换高压线，啊啊啊，一波未平，一波又起，好烦啊，有没有朋友帮忙分析一下问题所在？

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fengyonghe

第1楼2015/05/05

80uA就足够用的了，我们一般用40uA.200uA灯丝寿命会降低

1

MEIBU

第2楼2015/05/06

但是灯丝并没有断呢
fengyonghe(fengyonghe) 发表:80uA就足够用的了，我们一般用40uA.200uA灯丝寿命会降低

1

sweetapple986

第3楼2015/05/06

真空的问题我遇到跟你差不多的情况，最后拆了分子泵发现叶片有受损的痕迹，因为在保修期内，厂家给换了一个。

1

fengyonghe

第4楼2015/05/06

保护动作
MEIBU(v2993025) 发表: 但是灯丝并没有断呢

1

MEIBU

第5楼2015/05/08

我们这边判定很有可能是分子泵控制器的原因，刚过保修期，从去年到今年问题不断。
sweetapple986(v2644276) 发表:真空的问题我遇到跟你差不多的情况，最后拆了分子泵发现叶片有受损的痕迹，因为在保修期内，厂家给换了一个。

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naige

第6楼2015/05/12

是不是哪里的保险丝断了什么的。不过你说拉大到200才出问题，拉回去就恢复没事了？

0

fengyonghe

第7楼2015/05/12

能说说分子泵和灯丝200UA之间是什么关系吗?
MEIBU(v2993025) 发表: 我们这边判定很有可能是分子泵控制器的原因，刚过保修期，从去年到今年问题不断。

0

515141494j

第8楼2015/05/14

如果机械泵漏油比较厉害或者声音有异常的话建议换个机械泵试试哦再看看panning规有没有脏啊这些都排除了再考虑分子泵的问题吧毕竟分子泵比较贵嘛

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胖胖熊

第9楼2015/05/15

这根我们的问题是一样一样的，最后是高压线接触不良造成，拧一下高压线连接枪头位置的螺丝试试吧。但是前提是工程师判定已经坏掉了，不然出问题了跟公司说不清楚的

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胖胖熊

第10楼2015/05/15

请问你说的这个电流是什么电流，楼主说的是灯丝通电电流

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