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新手求助关于SEM的Emission Current设置问题

huoniu112

2015/08/05

扫描电镜（SEM/EDS）

小弟新手，才接触SEM不久，想请教论坛中的SEM达人几个问题，先谢谢大家了。
1.Emission Current和Probe Current分别调节的是什么电流，有什么作用？
2.这两个电流对图像的分辨率有什么影响？
3.通常情况下这两个电流的值应该设为多少合适呢？
4.如果Emission Current长期运行在100ua，是否影响钨灯丝的寿命？

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fengyonghe

第1楼2015/08/06

Emission Current大对图像有利，对灯丝寿命不利。Probe Current大图像亮度高，束斑变大，对分辨率不利；Probe Current过小图像亮度低，分辨率也会低。要实时灵活调整，没有固定的设置

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huoniu112

第2楼2015/08/08

嗯嗯，谢谢这位前辈的回答。我还想请教一下，比如看植物、高分子纤维、金属块，Emission Current大概分别设置的范围是多少呢？
fengyonghe(fengyonghe) 发表:Emission Current大对图像有利，对灯丝寿命不利。Probe Current大图像亮度高，束斑变大，对分辨率不利；Probe Current过小图像亮度低，分辨率也会低。要实时灵活调整，没有固定的设置

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fengyonghe

第3楼2015/08/08

边看边调满意就行
huoniu112(huoniu112) 发表: 嗯嗯，谢谢这位前辈的回答。我还想请教一下，比如看植物、高分子纤维、金属块，Emission Current大概分别设置的范围是多少呢？

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一叶知秋

第4楼2015/08/13

probe cuurent过小图像亮度会低。不过分辨率会好。你可以查看工程师拍分辨率图片的时候，他们用的值一般比你正常做样的要低吧。可以核实下
fengyonghe(fengyonghe)发表:Emission Current大对图像有利，对灯丝寿命不利。Probe Current大图像亮度高，束斑变大，对分辨率不利；Probe Current过小图像亮度低，分辨率也会低。要实时灵活调整，没有固定的设置

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BBLZM

第5楼2015/08/17

Emission Current一般根据情况选择。Probe Current束斑大，亮度高，但分辨率降低，束斑过小图像亮度低，分辨率也会低。一般选用中间的束斑

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