ICP-MS
Tim
第1楼2015/10/09
前级真空有没有达到分子泵启动要求。
口渴可乐
第2楼2015/10/09
具体报什么错呢
cgc634
第3楼2015/10/12
报的是1101Error:Vacuum(BK) time out, Vacuum too hight to start turbo pump.真空太高,无法启动分子涡轮泵,问了工程师,可能我们使用的是A的D450泵与爱德华泵不一样吧,现在还在等待中。
timstoicpms
第4楼2015/10/13
用平口螺丝刀,把下图机械泵真空管箍环 逆时针拧松,拔出真空管(会听到砰的一声);再插回去,顺时针拧紧箍环。在软件界面中重新抽真空,一切就正常了。
jiasheng
第5楼2015/10/13
请问老师这是什么道理呢?谢谢
第6楼2015/10/17
请问老师这是什么原理呢
sdlzkw007
第7楼2015/10/19
貌似滑阀没有正常动作,导致分子涡轮泵启动保护。个人观点,仅供参考。
platinum
第8楼2015/10/19
第9楼2015/10/19
应该是真空腔或者说是机械泵里面憋了一口气,抽不出去就会出这个问题机械泵的结构和原理现在还不是很了解。我现在用的是DS402不知道爱德华的泵怎样?我用的是7700X你的机器型号是?
caodahua0751
第10楼2020/12/11
分子涡轮泵坏了怎么办?如果要找第三方修,也是自己拆卸下来吗?
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