Agilent 7500C 抽真空问题

机械泵已经把背压抽到 3Pa以下，按说分子涡轮泵该启动、继续抽真空。只能推测分子涡轮泵坏了。

谢谢老师指导，明天马上联系工程师.....

应助达人

泄真空的时候出现过不正常吗

最后问题是怎么解决的呢？

我用的A7900，也出现过这个情况，无法从关机切换到待机，提示四级杆真空不够，原因是有一个真空关闭阀没自动关紧，它是靠氩气驱动的，但由于未知原因氩气没能驱动真空阀关紧，导致机械泵和分子泵不转无法待机，工程师通过维护界面，可以软件控制阀门切换关紧，问题解决。

经过了2个月的维修和测试，最后确定是分子泵坏了。 工程师上门换上新的（翻新）的分子泵后工作正常。

然后工程师提到，不要经常完全关掉机器，分子泵在从前启动的时候消耗很很大。

这个要看平衡校准，通常厂商平衡校正的时候只追求最终的速度，那么在开机和关机的过程中，振动值就会增大，这样就会损伤分子涡轮泵。
而最新的技术是可以在启动和停机的过程中把振动值降到最小，这样就会对分子涡轮泵的损耗降到最低。

G3151A/B 7500a 第一代7500a
G3152A 7500i
G3153A/B 7500s
G3155A/B 7500c
G3162A/B 7500cs 第一代7500cs

安捷伦于2014年1月31日停止 第一代7500a/cs和i/s/c 机型的维修备件库存保证。也就是说，这些维修备件用一个 少一个，用完即止。
估计2017年底就会停止 第二代7500a/cs/ce/cx 机型的维修备件库存保证。
G3271A 7500a 第二代7500a
G3272A 7500ce 2004年5月-2007年底
G3272B 7500cx 2007年6月开始
G3273A/B 7500cs