ivy_duan
第7楼2006/11/23
我的样品是900℃焙烧后NiO/NiAl2O4的复合膜,是一阵取向性的自支撑膜,这点XRD已经证明(以其111面互相平行的方式进行排布)。我现在想通过高倍TEM看它的取向性,想沿与膜平面平行的方向切片,然后通过TEM照片上的晶格条纹和衍射环来看进一步证实它的取向性,我们自己推测这个方向上的取向性应该与XRD的结果互相垂直,看到的应该是其220晶面的条纹,并且其衍射环应该比无序的粉体材料要少。由于我们的自支撑膜较脆厚度约30μm,沿与膜平行的方向切片难以实现的话可以考虑沿与膜平面垂直的方向切。我是北京的,问了几个地方都不愿意给切,现在请高手给指点一下,谢谢。[/quote]
只知道FIB切Si衬底的样品,不了解你所说的这种类型的薄膜所谓的脆是怎样,感觉上用FIB切是可以的 用这种方法做出的样品的厚度大约在80nm-100nm左右,厚度均匀,不会有更好的薄区(相对其他方法),如果再薄 离子束会导致样品的amouphous 可能会影响结果 30um厚的样品切top或cross section的应该都可以用这样方法做, 但top切可能需要支撑。只了解这么点儿。