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ICP光谱

  • 我们单位的ICP能正常点火，但点火后火焰闪烁，然后就自动熄灭，电脑上没有故障报警，打电话问工程师也没有明确哪里出了故障。请各位大师指点下怎样处理？
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  • 该帖子已被版主-tang566加2积分，加2经验;加分理由:话题
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  • sdlzkw007

    第1楼2017/02/08

    应助达人

    可能是气体纯度，流量控制或者RF有点儿问题，建议有条件可以换气体，或者重新把矩管安装维护一下，确认气体流量正常。祝你好运！

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  • 威钢

    第2楼2017/02/08

    我们单位的ICP能正常点火，但点火后火焰闪烁，然后就自动熄灭，电脑上没有故障报警，打电话问工程师也没有明确哪里出了故障。请各位大师指点下怎样处理？

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  • 威钢

    第3楼2017/02/08

    气我换了，矩管也清洗从新安装了，不过过几天点火又能稳定一定时间？？

    sdlzkw007(sdlzkw007)发表:可能是气体纯度，流量控制或者RF有点儿问题，建议有条件可以换气体，或者重新把矩管安装维护一下，确认气体流量正常。祝你好运！

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  • 砂锅粥

    第4楼2017/02/08

    应助达人

    雾化器有没有堵？进样系统会不会漏气？排废液通不通畅？

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  • JOE HUI

    第5楼2017/02/08

    应助达人

    稳定后还最终熄灭吗？

    威钢(v2982167) 发表:气我换了，矩管也清洗从新安装了，不过过几天点火又能稳定一定时间？？

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  • JOE HUI

    第6楼2017/02/08

    应助达人

    我们 这款ICP是MFC流量控制，RF功率管老化的话直接点不起火了

    sdlzkw007(sdlzkw007) 发表:可能是气体纯度，流量控制或者RF有点儿问题，建议有条件可以换气体，或者重新把矩管安装维护一下，确认气体流量正常。祝你好运！

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  • 威钢

    第7楼2017/02/08

    雾化器不开，进样系统不工作还是一样现象

    砂锅粥(czcht)发表:雾化器有没有堵？进样系统会不会漏气？排废液通不通畅？

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  • 威钢

    第8楼2017/02/08

    稳定时间不定有时几分时钟，有时要长些，如果稳定几分钟后就熄灭了。

    JOE HUI(xurunjiao5339)发表: 稳定后还最终熄灭吗？

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  • abcpgf

    第9楼2017/02/11

    应助达人

    辅助气压可能有点问题，或者RF高压器有点问题。

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  • 威钢

    第10楼2017/02/13

    辅助气我查了是正常的，我也发觉可能是RF和高压发生器有问题，领导不让动，这个星期厂家来人修，看看是不是和我们判断一样

    abcpgf(abcpgf)发表:辅助气压可能有点问题，或者RF高压器有点问题。

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