【求助】请问用EDS能测到多少PPM的杂质元素

I feel it can be got a better result for your sample by XRF

Thank you very much！
因为是微观上分布不均匀，在SEM下是1kx看的，原子X荧光能否分析到该区域？（sorry，I'm 菜鸟，没用过XRF）

如果1000x下能看得到，就可以用eds进行分析

有些元素还是可以做的。但用EDS做的时候一定要选择“差额分析法”。如果是牛津的能谱的话定量分析设置这一步就有这个选项，选择Ni作为差额分析的元素。即先测微量成分，最后再计算Ni。否则的话很多元素出来，且误差非常大。
试一下，然后告诉我们结果吧，一个不错的讨论话题。

我觉得用EDS作千分之一以上的成分还行，要是低于这个数量，精确定量很困难。是不是如此呢？

如果1000x下能看得到，就可以用eds进行分析

同意.
千分之一定量大概有困难,定量结果只是个参考值,千分之五以上还可以.但如果这个数量级的元素是均匀分布在样品中,而EDS又是表面微区分析,那么只能定性分析,甚至定性分析都有点困难.

EDS的检测限与试样成分、仪器性能、测试条件及元素种类有关，检测限一般为0.1%-0.5%。低含量元素束流要大、活时间要长。用WDS完全可用解决，WDS的检测限是几十PPM。用EDS的差值法也有困难，因为其它元素测量的准确度没有这么高，差值后就不准确。
李