溅射金膜的分布和哪些因素有关？

会不会时间短了

抱歉我没说清楚，是这样的，同一批喷金的样品，在相同倍数下，有的上面就看到全部都是金膜裂纹，有的就只能在局部看到。

有照片吗

这个问题我们也经常遇到！
我们通过调节溅射电压和溅射电流。
普通溅射仪，Au靶材，溅射电压调节到很低，我们用5mA 240秒，A4纸喷金到浅灰色，100KX看不出裂纹。

样品电子束敏感，电子束轰击下形变，把表面的金膜拉开了；要么，本身就是喷厚了，裂开来了。

如果在所需膜厚相同的情况下，建议低溅射电流（一般不要高于10mA)，溅射时间相应延长。这样喷出的膜相对比较均匀。