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In_lens 探头为何只探测SE1

Insm_5225054a

2018/05/27

扫描电镜（SEM/EDS）

"独特的环形In-lens二次电子探测器，具有探测效率高、灵敏度高、环形对称的优点，有效的保证了成像的质量。由于Inlens SE探测器的位置和条件的作用，Inlens SE探测器只接收SE1（入射电子束直接激发的二次电子，产生范围较小），而不接收SE2（入射到样品中的电子激发出的二次电子，产生范围较大），这样就提高了分辨率"
In_lens 探头为何对探测SE1??????

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驰奔仪器

第1楼2018/05/27

In_lens 探头为何对探测SE1??????

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Insm_5225054a

第2楼2018/05/27

为何可以选择性探测SE1
驰奔仪器(SH103843) 发表:In_lens 探头为何对探测SE1??????

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驰奔仪器

第3楼2018/05/28

吸收SE加速电场的空间几何分布，从这个角度去画图、想象、脑补，你会豁然开朗~
不过仅仅从这个角度，也是一知半解。
关键的蒙特卡罗模拟轨迹显示： SE1好像是垂直样品表面发射
如此，可以脑补出更多信息。
Insm_5225054a(Insm_5225054a) 发表:为何可以选择性探测SE1

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驰奔仪器

第4楼2018/05/28

钨灯丝扫描电镜目前没有In-Len Det吧？？？（透射电镜扫描附件除外），

大声问一句，有人知道吗？

没有！

反正驰奔-EM工匠系列扫描电镜是没有的。

因此驰奔电镜并不擅长 In-Lens探测。

都是脑补瞎猜的。

楼主且听且珍惜

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Insm_5225054a

第5楼2018/05/29

我说FESEM
驰奔仪器(SH103843) 发表:钨灯丝扫描电镜目前没有In-Len Det吧？？？（透射电镜扫描附件除外），大声问一句，有人知道吗？没有！反正驰奔-EM工匠系列扫描电镜是没有的。因此驰奔电镜并不擅长 In-Lens探测。都是脑补瞎猜的。楼主且听且珍惜

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伯爵山

第6楼2018/05/30

in-lens也不是只测到SE1 只是SE1的份额占大多数在高角度探测范围内 SE1比SE2的份额大 SE1是入射电子束激发出来的 SE2是背散射电子激发出来的 SE2要比SE1横向辐射的量大即径向位移大一些导致在高角度的SE2份额降低所以一般说in-lens主要探测的是SE1 基本可以排除SE2 的干扰

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驰奔仪器

第7楼2018/05/30

有人听懂了吗？
伯爵山(Ins_91e7d720) 发表:in-lens也不是只测到SE1 只是SE1的份额占大多数在高角度探测范围内 SE1比SE2的份额大 SE1是入射电子束激发出来的 SE2是背散射电子激发出来的 SE2要比SE1横向辐射的量大即径向位移大一些导致在高角度的SE2份额降低所以一般说in-lens主要探测的是SE1 基本可以排除SE2 的干扰

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fengyonghe

第8楼2018/05/30

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伯爵山

第9楼2018/05/31

反正意思就是 SE2是杂散电子属于背景噪声量越少越好越高角度的探测器探测到的SE2越少图像信噪比越好
驰奔仪器(SH103843) 发表:有人听懂了吗？

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Insm_5225054a

第10楼2018/05/31

谢谢，也就是说SE3它肯定可以排除了，SE2的部分屏蔽是靠in lene的高角度去屏蔽对吧？in lene 屏蔽BSE是怎么回事呢？
伯爵山(Ins_91e7d720) 发表:in-lens也不是只测到SE1 只是SE1的份额占大多数在高角度探测范围内 SE1比SE2的份额大 SE1是入射电子束激发出来的 SE2是背散射电子激发出来的 SE2要比SE1横向辐射的量大即径向位移大一些导致在高角度的SE2份额降低所以一般说in-lens主要探测的是SE1 基本可以排除SE2 的干扰

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