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  • Insm_5225054a

    第11楼2018/05/31

    谢谢,In lene Detector除了环形还有旁置式吧,此外,INLENE 中的背散射电子无法除去吧,除非是旁置式的SE detector可以屏蔽BSE,如果加一个 E filter是不是可以过滤SE?另外是不是所有的inlene都需要静电透镜去吸引电子,可以靠物镜的磁场去去吸引吗?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:

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  • 伯爵山

    第12楼2018/05/31

    in-len是屏蔽bse? 可能不同电镜方法不一样吧
    可以通过给探测器加负压 , 二次电子能量低, 会被排斥。 而BSE能量高,负电压对它影响不大,此时的探测器主要就是探测BSE。
    in-lens的位置是可变的,可以在轴外,也可以在轴上。 探测BSE的话,一般都是轴上in-len吧,毕竟要把BSE吸到轴外不容易。 仅仅是我认为的哈~ 共同交流进步

    Insm_5225054a(Insm_5225054a) 发表:谢谢,也就是说SE3它肯定可以排除了,SE2的部分屏蔽是靠in lene的高角度去屏蔽对吧?in lene 屏蔽BSE是怎么回事呢?

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  • Insm_5225054a

    第13楼2018/05/31

    对的,我说错了,就是轴外

    伯爵山(Ins_91e7d720) 发表: in-len是屏蔽bse? 可能不同电镜方法不一样吧可以通过给探测器加负压 , 二次电子能量低, 会被排斥。 而BSE能量高,负电压对它影响不大,此时的探测器主要就是探测BSE。in-lens的位置是可变的,可以在轴外,也可以在轴上。 探测BSE的话,一般都是轴上in-len吧,毕竟要把BSE吸到轴外不容易。 仅仅是我认为的哈~ 共同交流进步

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  • fengyonghe

    第14楼2018/06/18

    在轴外的不叫inlens

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  • fengyonghe

    第15楼2018/06/18

    本来就是靠物镜的透镜,没有另外的透镜

    Insm_5225054a(Insm_5225054a) 发表:谢谢,In lene Detector除了环形还有旁置式吧,此外,INLENE 中的背散射电子无法除去吧,除非是旁置式的SE detector可以屏蔽BSE,如果加一个 E filter是不是可以过滤SE?另外是不是所有的inlene都需要静电透镜去吸引电子,可以靠物镜的磁场去去吸引吗?

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  • sunnysky

    第16楼2018/06/19

    目前任何位置的二次电子探头都不可能只接收SE1

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  • fengyonghe

    第17楼2018/06/20

    这肯定是对的

    sunnysky(sunnysky) 发表:目前任何位置的二次电子探头都不可能只接收SE1

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  • semuser

    第18楼2018/07/10

    这肯定是对的,但一开始说这些,基本把初学的都搞晕掉了,培训还得是一步一步来,先说SE、BSE(这两个里面有哪些衬度只讲最简单的),一般用到场发射的才说SE1和SE2的区别,SE3讲得都不多,镜筒里有2个探头的才必须讲的比较全,否则用不起来(见过一堆超高分辨当高倍钨灯丝用的,还觉得不如普通场发射好用,哭啊......),基本讲一次没用,全晕掉了,好不容易会用了,毕业、换人......

    sunnysky(sunnysky) 发表:目前任何位置的二次电子探头都不可能只接收SE1

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  • RBLEGEND

    第19楼2019/04/02

    应助达人

    你这是看的蔡司的资料吧?Inlens 只有蔡司的做的比较好,因为SE1反应极表面信息,能量相对统一,正常的二次电子探测器都是10nm的深度信息了,SE1应该在几个A吧

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  • SEMDriver

    第20楼2019/04/03

    对的,蔡司的是环形 inlens ,日立的是旁置式的

    RBLEGEND(v3031903)发表:你这是看的蔡司的资料吧?Inlens 只有蔡司的做的比较好,因为SE1反应极表面信息,能量相对统一,正常的二次电子探测器都是10nm的深度信息了,SE1应该在几个A吧

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