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高真空问题

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 在给设备抽高真空时,目标是8*10-8pa, 一直抽不上去,密封圈都是金属密封。 大家在抽真空时有没有什么招儿? 烘烤时间、温度、位置等?
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  • sdlzkw007

    第1楼2019/03/14

    应助达人

    可以使用真空硅脂吗?效果不错的,我们原来的真空光室密封使用过。

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  • fengyonghe

    第2楼2019/03/16

    如果是仪器用久了,真空达不到,就得检修离子泵。先可以涂抹真空硅脂看看效果。

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  • 伯爵山

    第3楼2019/03/17

    嗯 这个考虑过,我们自己给离子泵进行的烘烤 可能烘烤的温度过高? 300度应该没有问题吧,在烘烤的过程中是不是不能用铝箔包住?
    真空硅脂最好是抹在哪里使用? 在烘烤腔体和离子泵的过程中,真空硅脂的挥发严重么?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:如果是仪器用久了,真空达不到,就得检修离子泵。先可以涂抹真空硅脂看看效果。

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  • 伯爵山

    第4楼2019/03/17

    用过真空硅脂,但是我们会烘烤腔体 不知道真空硅脂耐温最高是多少? 烘烤300度,真空硅脂应该没有问题吧?

    sdlzkw007(sdlzkw007) 发表:可以使用真空硅脂吗?效果不错的,我们原来的真空光室密封使用过。

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  • wildonkey

    第5楼2019/04/29

    这种级别的真空度 用硅脂? 不会吧

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