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SEM电子抢对中

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 扫描电镜,电子枪不对中时的现象有在聚焦过程中图像晃动么?而像散也是图像出现拉升?
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  • 小M

    第1楼2019/04/01

    应助达人

    有象散时图像只调聚焦调不清楚

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  • UNM

    第2楼2019/04/01

    应助达人

    会的,电子不对中会出现上面的现象的。

    小M(mitchell_dyzy)发表:有象散时图像只调聚焦调不清楚

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  • chanmao2004

    第3楼2019/04/09

    其实本质是一样的,电子束不对中,像散也消不掉,因为磁场对电子束的作用不对称了

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  • Lei Wang_N

    第4楼2019/05/05

    聚焦时,图像有位移,轴不正,需要合轴,聚焦时,图像拉伸,欠焦和过焦拉伸方向互相垂直,有像散,需要把焦距聚到两个拉伸中间,图像不拉伸但是不清楚,消像散

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  • chanmao2004

    第5楼2021/12/08

    电子光学可以类比光学。光学中,离轴的像差会带来聚焦时焦点离轴,也就是图像横向的移动,而轴向的像差则不会。所以电子枪对中是合轴的一个步骤,是为了消除离轴的像差。离轴的像差消除了,还有轴向的像差如像散,下边就是消像散,就如楼上所述

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