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请问气相色谱-质谱联用仪能用来测定CVD反应室内气氛组成吗

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  • 请问气相色谱-质谱联用仪能用来测定CVD反应室内的气氛组成吗?

    或者分析尾气气氛组成。

    我没有用过,麻烦各位介绍详细点,谢谢!
    +关注 私聊
  • malibing

    第1楼2019/12/16

    气相色谱-质谱联用仪我用过,可是CVD反应室没用过
    应该能够分析尾气成分的,但是需要知道大致是什么,因为这牵扯到选择什么样的检测器和载气

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