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化学气相沉积 乙炔为气源时电离后的成分是什么啊？

测试版面

  • 我用化学气相沉积方法沉积非晶碳薄膜，不知道用乙炔为气源，在里面电离后形成的成分都是那些啊？离子？中性离子？原子团？
    那位同学知道，帮帮忙啊！
    +关注 私聊

  • qyqydl

    第1楼2020/03/16

    都有，看具体温度。

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